주성엔지니어링, 반도체 관련 일본 특허 취득

주성엔지니어링(대표 황철주)이 반도체 소자 제조 관련 일본 특허를 취득했다고 8일 공시했다.

이번 특허는 반도체 소자 제조에서 고유전박막으로 사용되는 탄탈륨질화산화막을 형성하는 방법에 관한 것이다.

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